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技術文章

常見的真空爐真空測量方法

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常見的真空爐真空測量方法

、壓縮式真空計

壓縮式真空計,上接根頂端封閉的毛細管,下端與“Y”形管的端口相接,“Y”形管下方接汞儲存器,使用時,將真空系統與“Y”形管口相接,轉動真空計,是汞壓縮氣體,再轉至垂直位置讀取“測量毛細管”與“比毛細管”的液面差,即為所測真空度。壓縮真空計優點在于測量的性高,可作為真空計量的標準器。他的缺點是使用不夠方便,反應緩慢,不能連續測量。由于壓縮式真空計是根據氣體定律制作的,只能測量性氣體分壓強,而不能測量蒸氣壓。在蒸汽分壓較大的真空系統中,壓縮式真空計的讀數不能標志其真空度。

二、熱導式真空計

利用真空系統中分子數與傳導熱量有關的原理制成熱導式真空計,電阻真空計和熱偶真空計兩種。通過電流時溫度升高,周期氣體被加熱,規管管壁溫度低,依靠周圍存在的氣體分子傳導熱量,電阻絲溫度變化,即反應了存在氣體分子多少。直接測量電阻絲的溫度很不方便,由于電阻絲的電阻值與溫度有關,故可用電橋測出其電阻數值。熱導式真空計的優點是:1,可測量總壓強;2,能連續測量;3,使用方便,可用導線進行遠距離測量;4,結構簡單,易于制造;其缺點是:1,有熱慣性,當壓強變化很快時,反應滯后;2,外界溫度對測量結果有定的影響;3.電阻絲表面情況改變,可造成零點漂移,影響讀數。
 

三、電離真空計

是以氣體的電離現象為基礎來測量真空度大小的,可分為熱陰電離真空計和磁控放電真空計兩類。當在各加上定電源時,燈絲處于白熾狀態,發出熱電子。這些電子與管內氣體分子碰撞,使氣體電離,產生整離子。證離子為離子收集,形成電流,隨著壓強的變化,電流也有變化。測量電流的大小,即可測出真空。熱陰電離真空計的優點是:1,可測總壓強;2,可連續測量;3,測量范圍廣,靈敏度很高;4,電離計規管體積小,可直接連通要測位置;5,對機械振動不敏感,慣性小;6,校準曲線是直線性;其缺點是:1,讀數與氣體種類有關,不同氣體要做不同曲線;2,燈絲是白熾狀態,真空系統突然漏氣或壓強突然升高,會使燈絲損壞;3,氣體被吸附在陰和收集表面,易產生測量誤差;4,在低壓強時,規管外殼與電放電現象影響讀數;

磁控放電真空計也是利用氣體放電原理,但在規管中沒有熱陰。規管中有兩個平行陰,兩個平行板中間有個框型電。整個規管的電部分都在磁場之中。由于外加磁場的作用和陽的框型,容易使電子穿越,造成電子在空間做來回多次的螺旋運動。增加電離的效果,真空計的靈敏度則隨之提高。其優點是:1,沒有熱陰存在,不會因漏氣而損害燈絲;2,測量總壓強,可連續測量;3,放電電流大,電路使用儀表簡單;4,結構牢固,對外界不敏感;其缺點是:在壓強條件下,它的靈敏度不及熱陰電離真空計高,對不同氣體也需要不同校準曲線。




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